研究級材料檢測顯微鏡CM60BD采用全新半復消技術,集明場,暗場及偏光等多種照明方式,任何觀察都能呈現清晰銳利的顯微圖像,或根據實際應用進行功能選擇,是工業(yè)檢測的有效工具。配有6寸大平臺特別是針對大尺寸的半導體FPD檢查,線路板切片測量,晶圓檢測同時該產品還適用于金相材料,高分子材料的分析檢測,本機配備了偏振系統包括了起偏鏡插板和檢偏鏡插板,可做偏光檢測,在半導體和PCB檢測中,可消除雜光,細節(jié)更加清晰。360度旋轉式檢偏器可以在不移動標本的情況下,方便的觀察標本在不同偏振角度光線下呈現的狀態(tài).同時可以在在正交偏光的基礎上,插入DlC棱鏡,可進行DIC微分干涉相襯觀察。DIC技術可以使物體表面微小的高低差產生明顯的浮雕效果,大幅提高圖像對比度,特別適合觀察導電粒子。
性能特點
2、配置了落射與透射兩套照明系統,可觀察透明及不透明材料;
3、配置了內置推拉式檢偏器與起偏器,適合觀察高反光材料的表面;
4、本機可選購干涉系統,做微分干涉觀察獲得具有浮雕效果的立體像;
5、本機采用高亮度5WLED照明,觀察舒適使用壽命長,不發(fā)熱。
顯微鏡參數
序號 | 名稱 | 技術參數 |
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1 |
平場目鏡 |
正像大場高眼點目鏡PL10X/25mm |
2 |
無限遠長工作距明暗場半復消色差金相物鏡5X NA0.15 WD14.35 無限遠長工作距明暗場半復消色差金相物鏡10X NA0.30 WD8.5 無限遠長工作距明暗場半復消色差金相物鏡20X NA0.40 WD10.8 |
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3 |
光學放大倍數 |
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4 |
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5 |
觀察頭 |
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6 |
轉換器 |
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7 |
調焦機構 |
透反射用機架, 低手位粗微同軸調焦機構。粗調行程35mm,微調精度0.001mm。帶有防止下滑的調節(jié)松緊裝置和隨機上限位裝置。內置100-240V寬電壓系統,采用數字調光,具有光強設定與復位功能 |
8 |
6英寸平臺,平臺面積 450*240mm,移動行程:158mmX158mm機械平臺,X、Y方向同軸調節(jié);含快速移動裝置? |
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9 |
偏光組件 |
起偏鏡插板,360°旋轉式檢偏鏡插板 |
10 |
反射照明系統 |
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11 |
透射照明系統 |
5W可調LED燈室,透、反射通用,預定中心 |
12 |
聚光鏡 |
搖出式消色差聚光鏡(N.A.0.9) |
13 |
攝像接口 |
0.65倍專用攝像接口 |
14 |
干涉組件 |
微分干涉板(選購) |
15 |
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16 |
拍照,錄像,測量,實時圖像拼接,景深融合等(選購) |
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17 |
標尺 |
高精度型測微尺,格值0.01m 總長1mm(選購) |
18 |
晶圓轉盤 |
8寸通用晶圓轉臺兼容6/4寸(選購) |
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