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電動研究級材料檢測顯微鏡CM80BD-AF采用全新半復(fù)消技術(shù)，集明場，暗場及偏光等多種照明方式，任何觀察都能呈現(xiàn)清晰銳利的顯微圖像，或根據(jù)實(shí)際應(yīng)用進(jìn)行功能選擇，是工業(yè)檢測的有效工具。機(jī)器采用電動轉(zhuǎn)換器，物理按鈕和軟件雙控，進(jìn)行遠(yuǎn)位數(shù)調(diào)節(jié)。8寸大平臺特別是針對大尺寸的半導(dǎo)體FPD檢查，線路板切片測量，晶圓檢測同時該產(chǎn)品還適用于金相材料，高分子材料的分析檢測，本機(jī)配備了偏振系統(tǒng)包括了起偏鏡插板和檢偏鏡插板，可做偏光檢測，在半導(dǎo)體和PCB檢測中，可消除雜光，細(xì)節(jié)更加清晰。360度旋轉(zhuǎn)式檢偏器可以在不移動標(biāo)本的情況下，方便的觀察標(biāo)本在不同偏振角度光線下呈現(xiàn)的狀態(tài).同時可以在在正交偏光的基礎(chǔ)上，插入DlC棱鏡，可進(jìn)行DIC微分干涉相襯觀察。DIC技術(shù)可以使物體表面微小的高低差產(chǎn)生明顯的浮雕效果，大幅提高圖像對比度，特別適合觀察導(dǎo)電粒子。
產(chǎn)品信息
性能特點(diǎn)
1、采用無限遠(yuǎn)半復(fù)消明暗場光學(xué)系統(tǒng)；
2、配置了落射與透射兩套照明系統(tǒng)，可觀察透明及不透明材料；
3、配置了內(nèi)置推拉式檢偏器與起偏器，適合觀察高反光材料的表面；
4、本機(jī)可選購干涉系統(tǒng)，做微分干涉觀察獲得具有浮雕效果的立體像
5、本機(jī)采用高亮度5WLED照明，觀察舒適使用壽命長，不發(fā)熱。
6、電動轉(zhuǎn)換器物理按鈕和軟件雙控.實(shí)現(xiàn)遠(yuǎn)電動倍數(shù)調(diào)節(jié)。
顯微鏡參數(shù)
| 序號 | 名稱 | 技術(shù)參數(shù) |
|---|---|---|
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1 |
平場目鏡 |
高眼點(diǎn)大視野目鏡SWH10/X25mm，視度可調(diào) |
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2 |
無限遠(yuǎn)長工作距明暗場半復(fù)消色差金相物鏡5X NA0.15 WD14.35 無限遠(yuǎn)長工作距明暗場半復(fù)消色差金相物鏡10X NA0.30 WD8.5 無限遠(yuǎn)長工作距明暗場半復(fù)消色差金相物鏡20X NA0.40 WD10.8 |
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3 |
光學(xué)放大倍數(shù) |
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4 |
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5 |
觀察頭 |
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6 |
轉(zhuǎn)換器 |
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7 |
調(diào)焦機(jī)構(gòu) |
透反射用機(jī)架, 低手位粗微同軸調(diào)焦機(jī)構(gòu)。粗調(diào)行程35mm,微調(diào)精度0.001mm。帶有防止下滑的調(diào)節(jié)松緊裝置和隨機(jī)上限位裝置。內(nèi)置100-240V寬電壓系統(tǒng)，采用數(shù)字調(diào)光，具有光強(qiáng)設(shè)定與復(fù)位功能 |
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8 |
8英寸平臺，平臺面積 525*330mm，移動行程：210mmX210mm機(jī)械平臺，X、Y方向同軸調(diào)節(jié)；含快速移動裝置 |
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9 |
偏光組件 |
起偏鏡插板，360°旋轉(zhuǎn)式檢偏鏡插板 |
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10 |
反射照明系統(tǒng) |
明暗場反射照明器，帶可變孔徑光闌，視場光闌，中心可調(diào)，帶濾色片插槽，帶起偏鏡/檢偏鏡插槽，5W可調(diào)LED燈室，預(yù)定中心 |
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11 |
透射照明系統(tǒng) |
5W可調(diào)LED燈室，透、反射通用，預(yù)定中心 |
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12 |
聚光鏡 |
搖出式消色差聚光鏡（N.A.0.9） |
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13 |
攝像接口 |
0.65倍專用攝像接口 |
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14 |
干涉組件 |
微分干涉板（選購） |
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15 |
高清1200或2000萬像素 （選購）USB輸出 |
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16 |
自動對焦相機(jī) |
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16 |
拍照，錄像，測量，實(shí)時圖像拼接，景深融合等（選購） |
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17 |
標(biāo)尺 |
高精度型測微尺，格值0.01m 總長1mm（選購） |
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18 |
電腦 |
品牌電腦 I5或I7以上處理器 windows操作系統(tǒng)（選購） ? |
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19 |
晶圓轉(zhuǎn)臺 |
8寸通用晶圓轉(zhuǎn)臺兼容6/4寸（選購） |
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