研究級電動12寸大平臺半導(dǎo)體檢查顯微鏡CM120BD廣泛應(yīng)用于芯片/晶圓/LCD,粒子爆破檢查等行業(yè)使用。采用半復(fù)消技術(shù),集明場,暗場及偏光等多種照明方式,任何觀察都能呈現(xiàn)清晰銳利的顯微圖像,其微分干涉效果可與進(jìn)口品牌相媲美。用戶可根據(jù)實(shí)際應(yīng)用進(jìn)行功能選擇,是工業(yè)檢測的有效工具。機(jī)器采用電動轉(zhuǎn)換器,物理按鈕和軟件雙控,進(jìn)行遠(yuǎn)位數(shù)調(diào)節(jié),12寸大工作平臺特別是針對線路板切片測量,晶圓檢測,金相材料,高分子材料等尺寸較大的樣器進(jìn)行分析檢測,本機(jī)配備了偏振系統(tǒng)可做偏光檢測,在半導(dǎo)體和PCB檢測中,可消除雜光,細(xì)節(jié)更加清晰。同時可以選配DIC干涉附件插入DlC棱鏡,可進(jìn)行DIC微分干涉相襯觀察。DIC技術(shù)可以使物體表面微小的高低差產(chǎn)生明顯的浮雕效果,大幅提高圖像對比度,特別適合觀察導(dǎo)電粒子。
產(chǎn)品概述
研究級電動12寸大平臺半導(dǎo)體檢查顯微鏡CM120BD廣泛應(yīng)用于芯片/晶圓/LCD,粒子爆破檢查等行業(yè)使用。采用半復(fù)消技術(shù),集明場,暗場及偏光等多種照明方式,任何觀察都能呈現(xiàn)清晰銳利的顯微圖像,其微分干涉效果可與進(jìn)口品牌相媲美。用戶可根據(jù)實(shí)際應(yīng)用進(jìn)行功能選擇,是工業(yè)檢測的有效工具。機(jī)器采用電動轉(zhuǎn)換器,物理按鈕和軟件雙控,進(jìn)行遠(yuǎn)位數(shù)調(diào)節(jié),12寸大工作平臺特別是針對線路板切片測量,晶圓檢測,金相材料,高分子材料等尺寸較大的樣器進(jìn)行分析檢測,本機(jī)配備了偏振系統(tǒng)可做偏光檢測,在半導(dǎo)體和PCB檢測中,可消除雜光,細(xì)節(jié)更加清晰。同時可以選配DIC干涉附件插入DlC棱鏡,可進(jìn)行DIC微分干涉相襯觀察。DIC技術(shù)可以使物體表面微小的高低差產(chǎn)生明顯的浮雕效果,大幅提高圖像對比度,特別適合觀察導(dǎo)電粒子。
性能特點(diǎn)
2、配置12寸大平臺,帶快速移動裝置。
3、配置有偏光裝置,適合觀察高反光材料的表面;
4、采用高亮度10WLED照明,觀察舒適使用壽命長,不發(fā)熱。
顯微鏡參數(shù)
序號 | 名稱 | 技術(shù)參數(shù) |
---|---|---|
1 |
平場目鏡 |
正像大場高眼點(diǎn)目鏡PL10X/25mm |
2 |
無限遠(yuǎn)長工作距明場半復(fù)消色差金相物鏡2.5X NA0.08 WD9.2 (選購) 無限遠(yuǎn)長工作距明暗場半復(fù)消色差金相物鏡5X NA0.15 WD15 無限遠(yuǎn)長工作距明暗場半復(fù)消色差金相物鏡10X NA0.30 WD8.4 無限遠(yuǎn)長工作距明暗場半復(fù)消色差金相物鏡20X NA0.40 WD11.9 |
|
3 |
光學(xué)放大倍數(shù) |
|
4 |
||
5 |
觀察頭 |
|
6 |
編碼型物鏡轉(zhuǎn)換器將顯微鏡的硬件設(shè)置與圖像分析軟件整合在一起。屏幕上顯示物鏡的放大倍率,同時切換倍率時也能自動調(diào)整軟件中記錄的校準(zhǔn)值,杜絕忘記切換軟件倍率造成的測量錯誤. |
|
7 |
調(diào)焦機(jī)構(gòu) |
反射用機(jī)架, 低手位粗微同軸調(diào)焦機(jī)構(gòu)。粗調(diào)行程35mm,微調(diào)精度0.001mm。帶有防止下滑的調(diào)節(jié)松緊裝置和隨機(jī)上限位裝置。 |
8 |
12英寸載物臺,平臺面積?760*430mm,玻璃臺面310*418mm,移動行程:300mmX300mm機(jī)械平臺,X、Y方向同軸調(diào)節(jié);含快速移動裝置 |
|
9 |
晶圓轉(zhuǎn)臺 |
12寸通用晶圓轉(zhuǎn)臺(選購) |
10 |
偏光組件 |
起偏鏡插板,360°旋轉(zhuǎn)式檢偏鏡插板 |
11 |
反射照明系統(tǒng) |
明暗場反射照明器,帶可變孔徑光闌,視場光闌,中心可調(diào),帶濾色片插槽,帶起偏鏡/檢偏鏡插槽,10W可調(diào)LED燈室,透、反射通用,預(yù)定中心 |
13 |
聚光鏡 |
搖出式消色差聚光鏡(N.A.0.9) |
14 |
攝像接口 |
0.65倍專用攝像接口 |
15 |
干涉組件 |
諾曼爾斯基微分干涉片(選購) |
16 |
||
17 |
拍照,錄像,測量,實(shí)時圖像拼接,景深融合等(選購) |
|
18 |
標(biāo)尺 |
高精度型測微尺,格值0.01m 總長1mm(選購) |